EXCS-6シリーズ

半自動切替パネル

EXCS-6シリーズ

標準流量
~100NL/min
機能
半自動切換装置
材質
SUS製
 

特長

  • 本製品は、左右切換弁の同時操作による新切換方式を採用し、最大供給圧力:0.8MPaを実現した製品です。
  • 供給流量はEXCS-1より約2倍の100L/minです。
  • 洗浄グレードにより高純度ガスにも対応できる製品となっております。

仕様一覧表

[備考] ■上記以外の仕様につきましては、ご相談ください。又は、接続継手のご指定がある場合はご指示ください。
品 番 EXCS-6
適用ガス 一般・標準・高純度ガス 他
高圧側圧力計 25MPa計
低圧側圧力計 1.6MPa計
入口圧力(P1) 14.8MPa以下
調整圧力(P2) 0~0.4MPa,0~0.55MPa,0~0.99MPa
標準流量 100L/m
入口継手 W22-14山(右)おす(逆止弁内蔵)内側ねじ:Rc1/4
出口継手 Rc1/4
付属品 ボンベパッキン(PCTFE)×2枚
オプション 認定仕様、ハンドル付、接点付圧力計、安全弁継手
質量 5.0kg

外観図

[外観図備考]
  ・単位:mm
  ・各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

流量曲線図

[備考] ■ 上記データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。

主要部材質

本体 SUS316
カバー C3604BD
弁座 SUS316
調整弁シート PCTFE
ダイヤフラム HC-22(切替部)、SUS316L(出口部)
安全弁シート FKM

品番コード

[注意事項]
① 入口形状をRc1/4にてご使用の場合、選定コードは2RM(W22-14山(右)オス)としてください(Rc1/4と兼用となっております)。入口形状2RMには、内側 にRc1/4を加工しています。
② オプションの接点付圧力計は、高圧側圧力計のみに適用します。また、可燃性ガスには使用できません。