BMFシリーズ
高精度ガス混合装置
特長
- BMFシリーズは高純度化、高精度化、自動化の要求に応える製品として、マスフローコントローラーを搭載した仕様で設計された、新たなガスを発生できるガス混合装置です。
- 本装置は、豊富なラインナップをご用意しております。又、H2などの可燃性ガスを使用する場合は本質安全防爆対応の混合装置になります。
| 用途 | フォーミングガス 食品ガス置換 溶接用混合ガス Ｈｅ希釈 標準ガス 熱還元 |
［外観図備考］
- 単位：mm
- 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
- BMF-1000は筐体外にタンクが設置されます。
仕様一覧表
| 型 式 | BMF-100 | BMF-500 | BMF-1000 | |
|---|---|---|---|---|
| 適用ガス | Ar，CO2，O2，N2，H2，He等 | |||
| 入口圧力 | 0.7～0.99MPa | |||
| 混合圧力 | 0～0.65MPa | |||
| 出口圧力 | 0.45MPa | |||
| 入口･出口間必要差圧 | 0.25MPa | |||
| 混合ガス流量 | 100L/min | 500L/min | 1000L/min | |
| タンク内圧制御圧 | 0.5～0.6MPa 可変式 | |||
| タンク容量 | 39L | 200L | 600L | |
| 流量精度 | フルスケール1％以下（MFM、MFCによる） | |||
| 混合精度 | 混合比率10%未満 | ±0.5% | ||
| 混合比率10%以上 | ±1% | |||
| 入口継手 | ベースガス側 | 3/8SUSパイプ継手 | 1/2SUSパイプ継手 | JIS10k-25A-RFフランジ |
| 添加ガス側 | 1/4SUSパイプ継手 | 1/4SUSパイプ継手 | JIS10k-25A-RFフランジ | |
| 出口継手 | 3/8SUSパイプ継手 | 1/2SUSパイプ継手 | JIS10k-25A-RFフランジ | |
| 電 源 | AC100V（ 50、60Hz） | |||
| 付属品 | なし | |||
| 質量 | 250kg | 350kg | 500kg | |
| 寸法 | W1300mm×H1500mm×D500mm | W1400mm×H1700mm×D800mm | W2380mm×H2070mm×D1100mm | |
外観図
フローシート
