L36シリーズ（低圧大流量タイプ）
Lシリーズ低圧用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L36シリーズは、低圧タイプの半導体プロセス製造ガス用で、コンパクトでありながら、流量を最大限に供給できるように設計された製品です。外部リーク、パーティクル性能に優れ、バルブボックス、フックアップ用に最適です。
仕様
| 入口圧力 | 2MPa以下 |
| 調整圧力 | Max.0.99MPa （レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0075MPa |
| 耐圧圧力 | 6MPa（入口側） |
| Cv値 | 1.1 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa・m3/sec・He（真空法） |
| 質量 | 約2kg |
| 取付方法 | 背面ビスによる取り付け（前面取り付けオプション） |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■ 圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
流量曲線図
［備考］
■ 各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L36SS | L36SH | |
|---|---|---|---|
| 接ガス部 | |||
| 本体 | SUS316L | ||
| 調整弁棒 | SUS316L | ハステロイ® | |
| 弁座 | SUS316L | ハステロイ® | |
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン） | ||
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 | ||
| 緩衝スプリング | SUS316 | ||
| 弁棒ガイド | PTFE（テフロン） | ||
| 非接ガス部 | |||
| 調整器カバー | C3604BD | ||
| 圧力調整ハンドル | ABS樹脂 | ||
| Oリング | NBR | ||
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μmRa以下 | 0.18μmRa以下 |
標準面間寸法
3/8”、1/2” フェイス・シール継手面間寸法
（オス、メス同一） ……………………………… 約132mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4″フェイス・シール継手オスが標準です。 ■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。