L81シリーズ（2段式標準流量タイプ）
Lシリーズ二段式
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L81シリーズは、二段式減圧構造で半導体プロセス製造ガス用に設計された製品です。基本構造が外部メタルシール・溶接継手仕様で外部リーク、パーティクル性能に優れた製品です。二段式減圧構造なので元圧変動を受けにくく、安定した圧力・流量が得られ又、液化ガスでの断熱膨張での温度低下が大きなガスには最適です。
仕様
| 入口圧力 | 14.8MPa以下（Max.19.6Mpa） |
| 調整圧力 | Max.0.99MPa （ レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa、0～0.99MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.000007MPa |
| 耐圧圧力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv値 | 0.03 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa･m3/s・He（真空法） |
| 内部容積 | 8.9cm（3 圧力計、継手部を除く） |
| 質量 | 約2.0kg |
| 取付方法 | 前面・背面共パネル取付用ナットによる取り付け |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
タイド・ダイヤフラム構造（オプション）
■ “タイド・ダイヤフラム”構造の場合、出口圧力側を加圧状態で、圧力調整ハンドルDECREASE（SHUT）方向へ戻す操作は、行わないでください。
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L81SS | L81SH | L81SS-N20 | L81SS-CO | L81SS-NH3 |
|---|---|---|---|---|---|
| 接ガス部 | |||||
| 本体 | SUS316 | ||||
| 調整弁棒 | SUS316 L | ハステロイ® C-22 |
SUS316 L | ||
| 弁座 | SUS316 L | ハステロイ® C-22 |
SUS316 L | ||
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 | SUS316 L | ハステロイ® C-22 |
||
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン® ） | ポリイミド樹脂 | PCTFE （ダイフロン®） |
アンモニア用 専用シート |
|
| 緩衝スプリング | SUS316 | ハステロイ® | SUS316 | ||
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | SUS316 | Ni | ||
| 非接ガス部 | |||||
| 調整器カバー | SUS316 | ||||
| 圧力調整ハンドル | ABS樹脂 | ||||
| Oリング | NBR | ||||
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法 （オス、メス同一） …………………………………約100mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。
［備考］
■ 中間セット圧力の標準は0 .99MPaとなります。
中間セット圧力 1 .5MPaは、出口圧力0 .99MPaの場合に選択してください。
中間セット圧力 0 .7 ～ 0 .3MPaは、NH3を使用する場合に必要な圧力を選択してください。
また、NH3以外でも入口圧力が2MPa以下の場合に選択してください。
中間セット圧力の選択は、出口圧力計の最大目盛値プラス0 .1MPaの値としてください。