L96シリーズ（絶対圧タイプ）
Lシリーズ真空調整
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L96シリーズは、真空調整型構造で半導体プロセス製造ガス用に設計された製品です。蒸気圧力が低いガスに最適です。基本構造は外部メタルシール・溶接継手仕様で外部リーク、パーティクル性能に優れた製品です。
仕様
| 入口圧力 | 0.99MPa以下 |
| 調整圧力 | －0.1MPa～0～0.2MPa |
| 耐圧圧力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv値 | 0.07 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa・m3/s・He（真空法） |
| 内部容積 | 5.739cm（3 圧力計、継手部を除く） |
| 質量 | 約1.6kg |
| 取付方法 | 背面ネジによる取り付け（外観図参照） |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■構造図に示す圧力調整範囲表示用インジケーターの位置は、約0MPaの状態です。
■圧力は、特に指示がない場合、すべてゲージ圧力で表示しております。
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
流量曲線図
［備考］
■＊1：入口圧力＝0 .2MPa ＊2：入口圧力＝0 .1MPa ＊3：入口圧力＝0 .1MPa
■上記以外の指示の無い各流量曲線は、入口圧力＝0ＭPaの場合のデータです。
■ 調整圧力＝0ＭPa以下の各流量曲線は、出口側を真空引きした場合のデータです。
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L96SS | L96SH | L96SS-CO | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 接ガス部 | |||||
| 本体 | SUS316 L | ||||
| 調整弁棒・弁座 | SUS316 L | ハステロイ®C-22 | SUS316 L | ||
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 | SUS316 L | |||
| 緩衝スプリング | PCTFE（ダイフロン® ） | ||||
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン® ） | ||||
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | SUS316 L | |||
| 非接ガス部 | |||||
| カバーB | 真鍮（クロム・メッキ） | ||||
| ユニオンカバーナット | SUS304 | ||||
| 圧力調整ネジ | 真鍮（ニッケル・メッキ） | ||||
| 圧力調整ハンドル | 真鍮（クロム・メッキ） | ||||
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法
（オス、メス同一） ……………………………… 約94mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。