LM2シリーズ(低圧大流量タイプ)
Lシリーズ低圧用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器LM2シリーズは、接続形状が1/2サイズ以上の低圧大流量タイプで、調整弁形状がニードルシール構造のプロセスガス用に設計された製品です。
仕様
入口圧力 | 2MPa以下 |
調整圧力 | Max.0.99MPa (レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa) |
元圧変動 | 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.016MPa以下 |
耐圧圧力 | 3MPa(入口側)、1.5MPa(調整側) |
Cv値 | 1.69 |
使用温度 | -10~+40°C |
外部リーク | 溶接仕様(W):1×10-11 Pa・m3/s・He(真空法) ねじ込み仕様(P):1×10-9 Pa・m3/s・He(真空法) |
質量 | 約5.0kg(3/8、1/2フェイスシール継手溶接3P) |
取付方法 | 裏面パネルマウント(前面パネルマウント無し) |
外観図
構造図
流量曲線図
材質
タイプ | LM2SS |
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接ガス部 | |
本体 | SUS316 L |
調整弁棒 | SUS316 L |
弁座 | SUS316 L |
ダイヤフラム | ハステロイ®C‐22 |
弁シート | PTFE(テフロン® ) |
緩衝スプリング | SUS316 |
圧力計部継手シール用ガスケット | Ni |
パッキン材 | PTFE(テフロン® ) |
非接ガス部 | |
調整器カバー | 真鍮(ニッケル・メッキ) |
圧力調整ハンドル | SUS製Tバー |
Oリング | NBR |
クリーン・レベル
非研磨仕様(グレード“B”) | 研磨仕様(グレード“B-Q”) | 非研磨仕様(グレード“C”) | |
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接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 | 切削面 |
標準面間寸法
NPT1 /2メス・本体面間寸法 ……………… 約89mm
3 /8”、1 /2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) …………………………… 約149mm
3 /4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) …………………………… 約175mm
[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4”NPTメス・ネジまたは、1/4”フェイス・シール継手オスが標準です。