RH2シリーズ(低圧大流量タイプ)
Rシリーズ低圧用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器RH2シリーズは、低圧専用大流量タイプの高純度ガス用でRH1製品の基本性能向上を目的に設計された製品です。
基本構造は本体接続形状をねじ込み加工しており、豊富な継手の取り付けが可能な汎用性の高い製品です。 - UJRなどの溶接継手仕様は本体差し込み溶接で対応しております。
仕様
入口圧力 | 2MPa以下 |
調整圧力 | Max.0.99MPa (レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa) |
元圧変動 | 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0082MPa以下 |
耐圧圧力 | 22.2MPa(入口側)、1.5MPa(調整側) |
Cv値 | 0.84 |
使用温度 | -10~+40°C |
外部リーク | ネジ込み仕様(P):1×10-9Pa・m3/s・He(真空法) 溶接仕様(W):1×10-11Pa・m3/s・He(真空法) (但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト) |
質量 | 約2.8kg(3/8、1/2フェイスシール継手溶接3ポートタイプ) |
取付方法 | 背面ビスによる取り付け(オプション:前面パネルマウント) |
外観図
構造図
流量曲線図
材質
タイプ | RH2SSC | RH2SS-CO |
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接ガス部 | ||
本体 | SUS316 L | |
調整弁棒SUS316 L | SUS316 L | |
弁座 | SUS316 L | |
ダイヤフラム | SUS316 L | |
弁シート | PCTFE(ダイフロン® ) | |
緩衝スプリング | SUS316 | |
圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | SUS316 |
パッキン材質 | PTFE(テフロン® ) | |
非接ガス部 | ||
調整器カバー | 真鍮(ニッケルメッキ) | |
圧力調整ハンドル | ABS樹脂 | |
Oリング | NBR |
クリーン・レベル
非研磨仕様(グレード“B”) | 研磨仕様(グレード“A”) | |
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接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
NPT1/2メス・本体面間寸法 ………………… 約79mm
3 /8”,1/2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) ………………………………約140mm
1 /2”SUSパイプ継手面間寸法 …………………約152mm
[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4”NPTメス・ネジまたは、1/4”フェイス・シール継手オスが標準です。