U31シリーズ(低圧中流量タイプ)

Uシリーズ

RoHS指令対応製品

U31シリーズ(低圧中流量タイプ)

機能
溶接仕様 メタルガスケット継手
調整弁構造
平面シール式 バルクガス
対応ガス
以外のガス
標準流量
100~500NL/min
 

【お知らせ】
Uシリーズ(U20、U25、U31)一体削り出し継手面間88mm仕様は、材料確保が困難な状況となりましたため誠に勝手ながら生産を中止させていただく事となりました。
なお、買い替え、または、同面間のご希望の場合は本体溶接仕様の特殊面間で対応いたします。

仕様

[注記]
1MPa = 10.2 kgf/cm2 = 144.84 PSI = 7504.36 mmHg = 295.4 inHg
入口圧力 6MPa以下
調整圧力 Max.0.99MPa(レンジ仕様:0~0.5MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.00086MPa
耐圧圧力 1次側9MPa
使用温度 -10~+40°C
外部リーク 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
質量 約1.4kg
取付方法 前面パネル取付用ナットまたは背面ビスによる取付

外観図

[備考]
■ 圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。

構造図

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。

材質

タイプ U31SS U31SV U31VH U31VH
接ガス部
本体 SUS316L SUS316L
真空二重溶解材
SUS316L SUS316L
真空二重溶解材
ダイヤフラム ハステロイ®C-22
弁シート PCTFE(ダイフロン®)
調整弁棒 SUS316L ハステロイ®C-22
圧力計部継手シール用ガスケット Ni
非接ガス部
調整器カバー SUS304
調整器カバー ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  研磨仕様(グレード“S”)
接ガス部表面処理 0.08μm Ra以下

標準面間寸法

1/4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ……………………………… 約122mm

品番コード

※1 U20シリーズのみ選択可能
※2 圧力計付仕様はLシリーズになります。
※3 圧力計ポート付、3W、4W仕様はGを付けて接続形状を指示してください。