VG-1・2(バキューム・ジェネレーター)
VGシリーズ
特長
- エジェクター方式
エジェクター方式のシンプルな構造で、トラブルフリーを考慮した設計となっています。また、駆動N2ガスにより、排出ガスが希釈されるため、安全性にも考慮しています。 - 高真空度(図A-①参照)
流体特性を極限まで追求するとともに、微細孔の精密加工技術により、エジェクター方式の真空発生器としては、極めて高い真空度(-90kPaG以下)を実現しました。
シリンダー・キャビネット等のベント・ライン用として最適な製品です。 - 禁油・禁水
禁油禁水構造で、摺動部がありません。
十分耐久性を考慮した製品設計がされています。
また、部品洗浄は、超音波脱脂洗浄等の特殊洗浄を行います。 - 耐圧設計
減圧機構の入口部は、22.2MPaの圧力に耐える設計となっています。
仕様
タイプ | VG-1、VG-2(減圧機構なし) |
排出ガス圧力 | Max. 0.60MPa |
駆動用N2圧力 | Max. 0.99MPa |
外部リーク | 1X10-9 Pa・m3/s・He(真空法) |
外観図
シリンダー・キャビネット用真空発生器 VG-1 (減圧機構なし)
シリンダー・キャビネット用真空発生器
VG-2(減圧機構なし・駆動用窒素ガス消費削減タイプ)
性能曲線図
VG-1、VG-2 性能比較表
材質
タイプ | VG-1、VG-2(減圧機構なし) |
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本体 | SUS316 L |
弁部(ボール) | — |
緩衝スプリング | — |
継手 | SUS316 |