U3Dシリーズ
高純度ガス用圧力計
特長
- 高純度ガス用で集積化ガス供給システム用に設計された製品です。
装置の省スペース化でのご使用に最適です。
仕様
形式 | U3D-□□□ -V1MQ | U3D-□□□-V2MQ |
目盛板寸法 | φ50 | |
精度等級 | 4級相当 | |
製作 | 禁油・禁水 | |
研磨 | 接ガス部 0 .2μmRa以下 | |
使用温度範囲 | -5 ~ 45℃ | |
外部リーク | 1×10-11 Pa・m3 /s・He(真空法) | |
固定フランジ | 無 | |
外観形状番号 | 図8 | 図9 |
外観図
寸法表
外観形状番号 | a | b | h | φD |
---|---|---|---|---|
図8 | 54 .3 | 25 .5 | 28 .8 | 33 |
図9 | 49 .5 | 25 .5 | 24 | 33 |
材質
名称 | U3D-□□□ -V1MQ | U3D-□□□ -V2MQ |
---|---|---|
ブルドン管 | SUS316 L | SUS316 L |
株 | SUS316 L | SUS316 |
継手 | SUS316 L | SUS316 |